Auto入門 之 常用概念

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1.SEMI (Semiconductor Equipment And Materials International)  國際半導體裝置與材料產業協會

2.SECS

SECS協議是基於RS-232或TCP/IP的點對點通訊協定 (PPP)，由SECS I/HSMS、SECS II兩層及GEM構成

 

SECS I/HSMS 為傳輸層，SECS II則把SECS I傳輸的二進位串翻譯成形象直觀的格式表示出來，SECS II規範傳輸資料的標準結構和顯示內容，方便使用者查看資料內容。

3.GEM (Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment) 通用裝置模型

該標準定義了一套通用的裝置的動作以及通訊功能的標準。GEM定義了主機方所看到的半導體裝置的行為，定義了哪些SECS II訊息會在何種狀態下被使用。是SECS II的一個子集合。定義了從主機方看到的半導體裝置的行為，定義了哪些SECS II訊息會在何種狀態下被使用。

4.HSMS(High Speed SECS Message Services)高速SECSMessage Service

定義了一個通訊的介面介面，適合半導體廠內電腦間利用TCP/IP通訊協議作訊息的交換。SECS I是利用RS232的通訊協議作為電腦間的資訊傳輸。

5.EAP(Equipment Automation Process)裝置自動化

6.FSM(Finite State Machine)有限自動機

7.STATIONworks

Brooks STATIONworks 是Brooks公司（現已被美國應用材料公司收購）的一套“智能”半導體裝置自動化方案，也可以說是一套開放式的架構。它提供了一個通訊橋樑，使得機台與機台之間、工廠的裝置與 MES(製造執行系統)之間能夠建立更好的通訊串連。STATIONworks包含一個裝置介面驅動（driver)庫，目前共有150個驅動，這些驅動以裝置物件模型（Tool-Object-Model:TOM)的形式提供，利用這些事先建立的驅動，可以簡單便捷地實現裝置與系統之間的整合。STATIONworks 採用了開放式架構、Harel的基於狀態的邏輯引擎，使得CIM(Couputer Integrated Manufacturing 電腦整合製造)人員能夠開發出自己的自動化控制邏輯，來提供MES和機台之間的介面。

MES、STATIONworks應用程式以及裝置之間的關係如下表：